投資投資17400萬！年產(chǎn)1936.2噸！江西一含氟電子特氣項目環(huán)評公示
信息來源：http://www.innetdns.com/ 發(fā)布時間：2024-01-29
近期九江空壓機租賃公司億思達了解到，永修縣人民政府發(fā)布公告，江西華特電子化學品有限公司擬投資17400萬元在江西省九江市永修縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)建設年產(chǎn)1936.2噸電子特氣項目。根據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》(生態(tài)環(huán)境部令第4號)規(guī)定，向公眾公告相關(guān)環(huán)評信息。公告具體內(nèi)容如下：
項目介紹
項目名稱：江西華特永修年產(chǎn)1936.2噸電子特氣項目。
建設地點
江西省九江市永修縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)，中心地理坐標為北緯N29°8′16.331″，東經(jīng)115°46′8.336″。
建設性質(zhì)：改擴建。
建設規(guī)模：新建和擴建7套裝置，分別為一套15t/a乙硅烷、一套1t/a丙硅烷、一套0.2t/a乙鍺烷、一套20t/a鍺烷、一套300t/aC4F6共5套新擴建生產(chǎn)裝置以及1套600t/a環(huán)氧乙烷分裝裝置和1套1000t/a三氟化氮分裝裝置。
關(guān)于三氟化氮
三氟化氮作為集成電路、顯示面板等制造過程使用的優(yōu)良等離子蝕刻氣體，具備優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，與其他含氟類電子氣體四氟化碳、六氟化硫相比，不會導致碳、硫沉積至硅表面，使用后對表面污染較小，因此三氟化氮為目前市場容量最大的電子特種氣體產(chǎn)品之一。
三氟化氮是國產(chǎn)化較為成功的含氟特氣之一，國外生產(chǎn)企業(yè)主要包括SK Materials、韓國曉星、日本關(guān)東電化、德國默克等，國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)主要包括南大光電、昊華氣體、中船特氣。
關(guān)于六氟丁二烯
六氟丁二烯(C4F6)又稱全氟丁二烯，作為下一代蝕刻氣體，被認為具有競爭優(yōu)勢，它可取代CF4用于KrF激光銳利蝕刻半導體電容器圖形的干工藝。C4F6在先進制程技術(shù)層面有諸多蝕刻上的優(yōu)點：它具有高選擇性和精確性、各向異性，適合對100 nm以下的電子線路進行蝕刻，性能較全氟碳氣體和NF3更好;C4F6與C4F8相比也具有更高的對光阻和氮化硅選擇比，這是很重要的兩個優(yōu)點;此外環(huán)境方面也是一個非常重要的因素，C4F6的全球變暖潛能值(GWP)幾乎為0。有關(guān)專家指出，到目前為止，C4F6可能是唯一能提供所需蝕刻條件及減少排放的替代物。
六氟丁二烯(C4F6)是一種附加值高，市場前景廣闊的電子氣體。目前，主要由海外廠商及海外廠商在國內(nèi)的子公司經(jīng)營，韓國厚城、梅塞爾、關(guān)東電化和大陽日酸等在國內(nèi)均有生產(chǎn)布局。國內(nèi)也有不少企業(yè)開始對其開展研究，包括綠菱氣體、宇極科技、浙化院、派瑞特氣等。
相關(guān)信息
